krzem
Encyklopedia PWN
krzemu(IV) azotek, Si3N4,
związek krzemu z azotem;
krzemu(IV) tlenek, ditlenek krzemu, krzemionka, SiO2,
związek krzemu z tlenem;
krzemu(IV) węglik, SiC,
związek krzemu z węglem;
MEMS, ang. Micro–Electro–Mechanical Systems lub Micromachined Electrical Mechanical Systems, mikrosystemy elektromechaniczne,
stacjonarne albo ruchome struktury, urządzenia lub systemy, o wymiarach liniowych od pojedynczych cm do pojedynczych µm, wytwarzane za pomocą mikroobróbki materiałów.
mikroelektronika
elektron. dziedzina nauki i techniki zajmująca się zminiaturyzowanymi układami elektronicznymi realizowanymi całkowicie w postaci scalonej (układ scalony), niekiedy z udziałem elementów (przyrządów) dyskretnych (dyskretny przyrząd).
[gr.],
MOS, ang. Metal-Oxide-Semiconductor,
struktura półprzewodnikowa, stanowiąca układ 3 warstw: metalu, tlenku i półprzewodnika, wytwarzana technologią, zw. technologią MOS (będąca odmianą technologii planarnej).
